老化柜是一種環(huán)境烤箱，用于評(píng)估多個(gè)半導(dǎo)體器件的可靠性并進(jìn)行大容量檢查，以檢查是否過(guò)早失效（嬰兒死亡率）。這些環(huán)境室設(shè)計(jì)用于集成電路（IC）和其他電子設(shè)備（例如激光二極管）的靜態(tài)和動(dòng)態(tài)老化。

選擇腔室尺寸

腔室的大小取決于老化板的尺寸，每個(gè)老化板中的產(chǎn)品數(shù)量以及每天滿足生產(chǎn)要求所需的批次數(shù)量。如果內(nèi)部空間太小，則零件之間的空間不足會(huì)導(dǎo)致性能下降。如果太大，則會(huì)浪費(fèi)空間，時(shí)間和精力。

購(gòu)買新的老化設(shè)置的公司應(yīng)與供應(yīng)商合作，以確保熱源具有足夠的穩(wěn)態(tài)和zui大容量以匹配DUT的負(fù)載。

當(dāng)使用強(qiáng)制循環(huán)氣流時(shí)，零件可從間隔中受益，但由于氣流沿整個(gè)側(cè)壁分布，因此烤箱可以在垂直方向更密集地裝載。零件應(yīng)與烤箱壁保持2-3英寸（5.1–7.6厘米）的距離。

老化柜設(shè)計(jì)規(guī)格

溫度范圍

根據(jù)被測(cè)設(shè)備（DUT）的要求，選擇具有動(dòng)態(tài)范圍（例如，環(huán)境溫度高15°C至300°C（572°F））的腔室

溫度精度

溫度不要波動(dòng)，這一點(diǎn)很重要。均勻度是指在指定設(shè)置下腔室內(nèi)zui高溫度與zui低溫度之間的zui大差異。在大多數(shù)半導(dǎo)體老化應(yīng)用中，均勻性和1.0°C控制精度的設(shè)定值至少應(yīng)為1％。

解析度

0.1°C的高溫分辨率將提供zui佳控制，以滿足老化要求

節(jié)約環(huán)境

考慮具有制冷劑的老化柜，該制冷劑的臭氧層消耗系數(shù)為零。帶有制冷功能的老化柜與在0攝氏度以下至–55°C的溫度下運(yùn)行的老化柜有關(guān)。

腔室配置

腔室可設(shè)計(jì)有卡籠，卡槽和檢修門，以簡(jiǎn)化DUT板和驅(qū)動(dòng)器板與ATE站的連接。

箱內(nèi)氣流

在大多數(shù)情況下，帶有循環(huán)氣流的強(qiáng)制對(duì)流烤箱將提供zui佳的熱量分配，并顯著加快將溫度和熱量傳遞到零件的速度。溫度均勻性和性能取決于將空氣引導(dǎo)到腔室所有區(qū)域的風(fēng)扇設(shè)計(jì)。

腔室可以設(shè)計(jì)成水平或垂直氣流。了解基于腔室氣流的DUT的插入方向非常重要。

自定義ATE接線

當(dāng)要測(cè)量數(shù)百種設(shè)備時(shí)，通過(guò)孔或測(cè)試孔插入導(dǎo)線可能不切實(shí)際。定制接線連接器可直接安裝到烤箱，以利于使用ATE對(duì)設(shè)備進(jìn)行電氣監(jiān)控。

老化烤箱如何控制溫度

老化烤箱使用執(zhí)行標(biāo)準(zhǔn)PID（比例，積分，微分）算法的溫度控制器。控制器感測(cè)實(shí)際溫度值與期望的設(shè)定值之間的關(guān)系，并向加熱器發(fā)出校正信號(hào)，以要求從無(wú)熱到全熱的任何場(chǎng)合應(yīng)用。風(fēng)扇也用于均衡通過(guò)腔室的溫度。

用于精確控制環(huán)境烤箱溫度的zui常見(jiàn)傳感器是電阻溫度檢測(cè)器（RTD），基于鉑的單元通常稱為PT100。

調(diào)整柜子大小

如果使用現(xiàn)有烤箱，則基于烤箱熱容量和損耗，熱源輸出和DUT質(zhì)量等因素的基本熱模型將使您驗(yàn)證烤箱和熱源是否足以達(dá)到所需溫度。熱時(shí)間常數(shù)短到足以在控制器的指示下產(chǎn)生緊密的環(huán)路響應(yīng)。

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